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帶你了解一下微透鏡的制作工藝

欄目:行業(yè)新聞 發(fā)布時間:2021-09-18
微透鏡陣列作為一種重要的光學(xué)元件,具有體積小、重量輕、集成度高的特點,吸引了大量的目光。伴隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展,光刻和微細加工技術(shù)的提高。

    微透鏡陣列作為一種重要的光學(xué)元件,具有體積小、重量輕、集成度高的特點,吸引了大量的目光。伴隨著半導(dǎo)體工業(yè)的發(fā)展,光刻和微細加工技術(shù)的提高,自上世紀八十年代起,相繼出現(xiàn)了一系列嶄新的微透鏡陣列制作技術(shù)。由于透鏡陣列器件分為折射型微透鏡陣列和衍射型微透鏡陣列,它們在制作工藝也開發(fā)出不同的方法。


    折射微透鏡的制作方法由于折射微透鏡陣列器件在聚光、準(zhǔn)直、大面陣顯示、光效率增強、光計算、光互連及微型掃描等方面越來越廣泛的應(yīng)用,它的制作工藝和方法得到了日益深入的研究。


    已經(jīng)出現(xiàn)很多制備折射微透鏡陣列的方法,光刻膠熱回流方法、激光直寫方法、微噴打印法、溶膠一凝膠法、反應(yīng)離子刻蝕法、灰度掩模法、熱壓模成型法、光敏玻璃熱成型法刪等。下面主要介紹幾種主流的微透鏡陣列制作方法。


    然而利用這種技術(shù)制作的微透鏡陣列也存在諸多缺點:由于光刻膠對于基板材料存在浸潤現(xiàn)象,當(dāng)光刻膠在熔融狀態(tài)時與基板的附著力是一定的,那么當(dāng)熔融光刻膠最終成型以后微透鏡球面輪廓與基板之間存在浸潤角,使微透鏡的邊緣存在一定的曲率,而中間部分下陷。


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